기술정보

Power of Intelligent New Technology

보유기술

Introduction
  • AAO(Anodic Aluminum Oxide)란 알루미늄의 전기화학 반응을 통해 얻어지는 산화피막으로,  Al2O3로 구성되며 피막 표면부터 내부까지 균일하게 정렬된 나노미터 크기의 기공이 형성되는 특징을 가진 세라믹 기능성 소재입니다.
  • 차별화된 기술로 제작된 당사의 AAO는 크기, 두께, 특성 등이 세계 최고 수준이며 이를 통해반도체, 디스플레이, 전자부품, 센서, 바이오 등, 다양한 산업분야의 핵심 소재로 사용되고있습니다.
Introduction
top view of AAO
Top view of AAO
section view of AAO
Section view of AAO
Transparent of AAO
Transparent of AAO
Flexibility of AAO
Flexibility of AAO
Benefits
  • 규칙적인 나노 포어가 형성된 100um 수준의 세라믹 기판
  • 우수한 종횡비 갖는 mold, mask 재료로 적용
  • 물리적, 화학적 안정성 우수
  • Nano 크기의 기능성 제품 응용 가능
  • 4”~8” 크기의 AAO wafer 대량 생산 가능
  • 투과성을 가진 세라믹 부품
  • MEMS 기술 응용으로 식각 및 증착
  • 낮은 열전도도 및 열팽창율 가진 내열 신뢰성 부여
Process
process
MEMS Performances
MEMS Performances
MEMS Performances
MEMS Performances
MEMS Performances
MEMS Performances
MEMS Performances
AAO 적용 분야
01
전기·전자 분야
02
세라믹 분야
03
고온 신뢰성 분야
04
나노 응용 분야
05
광학 분야
AAO 적용 제품
AAO Substrates
AAO Substrates
Micro Heater
Micro Heater
Guide Plate
Guide Plate
MEMS Pin & Mold
MEMS Pin & Mold
Micro LED Transfer
Micro LED Transfer
Gas Sensor
Gas Sensor
Optical & Display
Optical & Display
Micro Through Vias
Micro Through Vias