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Power of Intelligent New Technology

MEMS Service

정밀 패터닝, 에칭 및 증착 등의 기술과 시스템 운용 노하우
다양한 고객의 필요를 충족시킬 수 있습니다.

기술과 시스템 운용 노하우
MEMS foundry service
  • Photolithography : 4inch, 6inch, 8inch, Both side alignment available
  • Dry film liminator : Vacuum/Roll type
  • Metal or metal-oxide compound Deposition(Sputter) : Sputter Ti, Ta, Au, Ag, W, TiOx, TaOx
  • Dry Etching(ME-RIE) : Al, Pt, Ta, Metal-Oxide(TaOx, TiOx)
  • Electro/Electroless Plating
  • Dicing(Blade type)
  • Analysis : SEM/EDS, CD-SEM(8", in-line system)

Optical analysis(Micro scope, Nexiv, , Infrared analysis),

Electrical measurements(Source meter, Power supply, Pulse generator, etc)